There are many supercommentaries on Rashi's commentary to Chumash, which do pay very close attenאion to each word he wrote, but these are written by Acharonim for the most part.

Rashi's commentary was popular already throughout the times of the Rishonim. There are several famous quotes from Rishonim about Rashi that I know of:

Ramban: (Inro. to commentary on Torah)

ואשים למאור פני נרות המנורה הטהורה, פירושי רבינו שלמה עטרת צבי וצפירת תפארה, מוכתר בנמוסו במקרא במשנה ובגמרא, לו משפט הבכורה, בדבריו אהגה, באהבתם אשגה, ועמהם יהיה לנו משא ומתן דרישה וחקירה, בפשטיו ובמדרשיו וכל אגדה בצורה, אשר בפירושיו זכורה

Rashbam: (Bereshis 37:2)

רבינו שלמה אבי אמי מאיר עיני גולה שפירש תורה נביאים וכתובים נתן לב לפרש פשוטו של מקרא, ואף אני שמואל ב"ר מאיר חתנו זצ"ל נתווכחתי עמו ולפניו והודה לי שאילו היה לו פנאי היה צריך לעשות פרושים אחרים לפי הפשטות המתחדשים בכל יום

Abarbanel: (Intro. to Yehoshua)

כי רע ומר לי המעשה שהרב הגדול רש"י ז"ל נסתפק בפירושיו לספרי הקדש ברוב הענינים עם מה שדרשו חז"ל

There are many supercommentaries on Rashi's commentary to Chumash, which do pay very close attention to each word he wrote, but these are written by Acharonim for the most part.

Rashi's commentary was popular already throughout the times of the Rishonim. Here are several famous quotes from Rishonim about Rashi that I know of:

Ramban: (Inro. to commentary on Torah)

ואשים למאור פני נרות המנורה הטהורה, פירושי רבינו שלמה עטרת צבי וצפירת תפארה, מוכתר בנמוסו במקרא במשנה ובגמרא, לו משפט הבכורה, בדבריו אהגה, באהבתם אשגה, ועמהם יהיה לנו משא ומתן דרישה וחקירה, בפשטיו ובמדרשיו וכל אגדה בצורה, אשר בפירושיו זכורה

Rashbam: (Bereshis 37:2)

רבינו שלמה אבי אמי מאיר עיני גולה שפירש תורה נביאים וכתובים נתן לב לפרש פשוטו של מקרא, ואף אני שמואל ב"ר מאיר חתנו זצ"ל נתווכחתי עמו ולפניו והודה לי שאילו היה לו פנאי היה צריך לעשות פרושים אחרים לפי הפשטות המתחדשים בכל יום

Abarbanel: (Intro. to Yehoshua)

כי רע ומר לי המעשה שהרב הגדול רש"י ז"ל נסתפק בפירושיו לספרי הקדש ברוב הענינים עם מה שדרשו חז"ל